بررسی تاثیر ناهمواری بر خصوصیات تونل زنی و آماری تانتالوم کاشت شده با استفاده از یون نیتروژن | ||
| مهندسی متالورژی و مواد | ||
| دوره 35، شماره 1 - شماره پیاپی 33، بهار 1403، صفحه 11-22 اصل مقاله (1.5 M) | ||
| نوع مقاله: علمی و پژوهشی | ||
| شناسه دیجیتال (DOI): 10.22067/jmme.2023.82763.1113 | ||
| نویسندگان | ||
| امیر هوشنگ رمضانی* ؛ ژاله ابراهیمی نژاد | ||
| گروه فیزیک، واحد تهران غرب، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران. | ||
| چکیده | ||
| در این مقاله، اثر نوع یون بر خصوصیات ترابردی از میان ساختارهایی که فصول مشترک آنها توسط فرآیند بمباران یون بر پایه تانتالوم ایجاد گردیده، بررسی شده است. یون نیتروژن استفاده شده در فرآیند کاشت یونی با انرژی 30 کیلوالکترون ولت و در دوزهای مختلف در دمای محیط در نظر گرفته شده اند.برای مطالعه ریخت شناسی سطوح لایه های نازک بمبارانه شده یونی، از آنالیز میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) استفاده شده و مقدار متوسط ناهمواری تعیین شده است. نتایج نشان می دهد که فصول مشترکی هایی که با بمباران یون نیتروژن تولید شده اند تاثیرات بیشتری بر خصوصیات ترابردی دارند. همچنین نسبت پیک به دره کاهش می یابد. علاوه بر این، با افزایش دوز یون نیتروژن، چگالی جریان به عنوان تابعی از ولتاژ کاهش یافته است هرچند این کاهش، نتیجه مستقیمی از پراکندگی ناشی از وجود ناهمواریست اما روند این کاهش برای دوزهای مختلف از نظم خاصی پیروی نمیکند، نمونه شماره یک مفدار احتمال عبور بیشتری را نشان میدهد. نتایج نشان میدهند که تعیین میزان دوز در تعیین مقدار خصوصیات ترابردی از میان لایه های نازک ناهموار نقشی مهم ایفا میکند. | ||
| کلیدواژهها | ||
| تانتالوم؛ ناهمواری سطح؛ لایه نازک؛ کاشت یونی | ||
| مراجع | ||
|
| ||
|
آمار تعداد مشاهده مقاله: 1,617 تعداد دریافت فایل اصل مقاله: 1,013 |
||